精密行星减速机作为广泛应用的一款精密传动部件，长期保持运转，时间久了内部零部件难免会出现损坏的现象，为了让精密行星减速机能够长期保持正常运行，需要定期对精密行星减速机进行检查、维护和保养。
精密行星减速机的零部件中比较容易损坏的部件主要是：齿轮、油封、轴承。
1、齿轮：是精密行星减速机的核心部件。精密行星减速机在运转的过程中，齿轮之间相互啮合以传递动力。通常行星减速机的运行速度都是很快的，所以齿轮很容易磨损。每隔一段时间，我们就要对行星减速机齿轮做一次检查，以保证精密行星减速机的正常运行。
2、润滑油的油封：精密行星减速机工作时，会产生大量热量，使行星减速机内部温度急剧上升。但行星减速机在高温下容易使润滑油的油封变形部分渗出，所以平时要观察行星减速机内润滑油的泄漏情况。一旦发现漏油问题，应及时更换油封，然后加入适量的润滑油，以保证精密行星减速机的正常运行。
3、轴承：精密行星减速机通常都是高速运转设备的一个重要配件，高速运转容易导致轴承的损坏，如果一旦发现精密减速机有异常的现象，要及时对轴承进行检查，如有损坏及时更换，以保证精密行星减速机的正常运行。